Role of Nonplasma Oxidizing Agent on the Reaction Step in Atomic Layer Deposition of Titanium Oxide Thin Films

dc.date.accessioned	2026-01-06T17:45:18Z
dc.date.available	2026-01-06T17:45:18Z
dc.date.issued	2025-12-11	es_MX
dc.identifier.uri	https://cathi.uacj.mx/20.500.11961/33033
dc.description.uri	https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsomega.5c06117	es_MX
dc.language.iso	en_US	es_MX
dc.relation.ispartof	Producto de investigación IIT	es_MX
dc.relation.ispartof	Instituto de Ingeniería y Tecnología	es_MX
dc.subject.other	info:eu-repo/classification/cti/1	es_MX
dc.title	Role of Nonplasma Oxidizing Agent on the Reaction Step in Atomic Layer Deposition of Titanium Oxide Thin Films	es_MX
dc.type	Artículo	es_MX
dcterms.thumbnail	http://ri.uacj.mx/vufind/thumbnails/rupiiit.png	es_MX
dcrupi.instituto	Instituto de Ingeniería y Tecnología	es_MX
dcrupi.cosechable	Si	es_MX
dcrupi.norevista	50	es_MX
dcrupi.volumen	10	es_MX
dcrupi.nopagina	61355–61369	es_MX
dc.identifier.doi	https://doi.org/10.1021/acsomega.5c06117	es_MX
dc.contributor.coauthor	Mani Gonzalez, Pierre Giovanni
dc.journal.title	ACS Omega	es_MX
dc.contributor.coauthorexterno	Pungboon Pansila, P
dc.contributor.coauthorexterno	Khumpook, Taddaow
dc.contributor.coauthorexterno	Sriboon, Worasitti
dc.contributor.coauthorexterno	Sukprasong, Saksit
dc.contributor.coauthorexterno	Temnuch, Wipawee
dc.contributor.coauthorexterno	Phothisonothai, Montri
dc.contributor.coauthorexterno	Promjun, Tanabat
dcrupi.colaboracionext	Faculty of Science at Sriracha, Kasetsart University, Sriracha Campus, Thailand	es_MX
dcrupi.pronaces	Ninguno	es_MX