Role of Nonplasma Oxidizing Agent on the Reaction Step in Atomic Layer Deposition of Titanium Oxide Thin Films

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Atículo (6.807Mb)

Fecha

2025-12-11

Autor

Mani Gonzalez, Pierre Giovanni

Pungboon Pansila, P

Khumpook, Taddaow

Sriboon, Worasitti

Sukprasong, Saksit

Temnuch, Wipawee

Phothisonothai, Montri

Promjun, Tanabat

Metadatos

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URI

https://cathi.uacj.mx/20.500.11961/33033

Colecciones

• Artículo en revista de investigación [1098]