On the development and characterization of a MOEMS based bidirectional flowmeter

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dc.contributor.author	Mireles Jr. Garcia, Jose
dc.date.accessioned	2019-01-10T19:26:22Z
dc.date.available	2019-01-10T19:26:22Z
dc.date.issued	2018
dc.identifier.uri	http://cathi.uacj.mx/20.500.11961/5559
dc.description.abstract	In this work we provide: a) detail description of the MEMS sensing element device including its design parameters, FEA analysis, b) fabrications steps, c) integration into a 3D printed prototyping package and a collecting force part, and d) the optical setup of the interferometric reading of MEMS positioning.	es_MX
dc.description.uri	http://www.smctsm.org.mx/documentos/XI-ICSMV-PROCEEDINGS.pdf	es_MX
dc.language.iso	spa	es_MX
dc.publisher	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.	es_MX
dc.relation.ispartof	Producto de investigación IIT	es_MX
dc.relation.ispartof	Instituto de Ingeniería y Tecnología	es_MX
dc.subject	MEMS, FLOW SENSOR	es_MX
dc.subject.other	info:eu-repo/classification/cti/7	es_MX
dc.title	On the development and characterization of a MOEMS based bidirectional flowmeter	es_MX
dc.type	Memoria en abstract	es_MX
dcterms.thumbnail	http://ri.uacj.mx/vufind/thumbnails/rupiiit.png
dcrupi.instituto	Instituto de Ingeniería y Tecnología	es_MX
dcrupi.cosechable	Si	es_MX
dcrupi.subtipo	Investigación	es_MX
dcrupi.alcance	Internacional	es_MX
dcrupi.pais	México	es_MX
dc.contributor.coauthor	Jimenez Perez, Abimael
dc.contributor.coauthor	Sauceda Carvajal, Angel
dcrupi.tipoevento	Congreso	es_MX
dcrupi.evento	International Conference on Surfaces, Materials and Vacuum 2018	es_MX
dcrupi.estado	Quintana Roo	es_MX
dc.lgac	MICROELECTRÓNICA Y MEMS	es_MX
dc.cuerpoacademico	Microelectrónica	es_MX

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Nombre:: XI-ICSMV-PROCEEDINGS.pdf
Tamaño:: 3.477Mb
Formato:: PDF

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