Estudio de propiedades nanomecánicas, ópticas y estructurales en películas delgadas de WO3 y LiNbO3 para aplicaciones potenciales en dispositivos electrónicos flexibles

Abstract

Este estudio presenta los resultados de las propiedades estructurales analizadas en películas delgadas de WO3/LiNbO3 fabricadas por pulverización catódica por radiofrecuencia (RF). Para el estudio de las propiedades nano-mecánicas, se realizarán pruebas de nanoindentación, obteniéndose dureza (H) y de modulo elástico (E) en muestras depositadas a temperatura ambiente con tratamiento térmico a temperaturas de 70 y 90 C con radiación UV, en comparación con muestras sin tratamientos previos. Se utilizó microscopia electrónica de barrido (SEM) para la caracterización morfológica, para determinar su estructura cristalina se empleó difracción de rayos-X de ángulo rasante (GIXD) y para la corroboración final de fases estructurales presentes en el material se empleó espectroscopía Raman. En el estudio de las propiedades ópticas se midió la absorbancia a una longitud de onda de 200 a 800 nm